停止在晶圆干燥过程中浪费热量 说实话，晶圆制造过程中的大多数干燥步骤其实都相当于昂贵的“空间加热器”。我们投入了大量的能量，但其中很大一部分热量只是被墙壁反射掉或散失到机壳中。这无疑是一种能源的浪费，而且让人十分恼火。 我们找到了更好的方法。与其让这些能量白白浪费，不如使用镀金反射器，将能量精准地...

如何保持晶圆表面洁净：关于加热的真相 如果你在操作100级洁净室，那么你一定知道，空气过滤器只能解决一半的问题。真正的难题在于那些看不见的污染物。来自加热元件的气体排放以及微小颗粒，都可能在问题出现之前就破坏晶圆的质量。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外晶圆加热器的材料。这样就可以在污染...

为什么红外加热比热风加热更有效 在大多数半导体制造厂中，人们仍然使用传统的方法：先加热空气，再期望空气将热量传递给芯片。这就好比试图用吹风机来为整个房间供暖一样——效率极低。 正因如此，越来越多的人开始采用红外加热技术。这种技术无需经过空气作为中间介质，能量可以直接作用于芯片本身。 等待的代价 从...