晶圆加工设备用温度传感器

在晶圆制造过程中，如何正确运用红外线加热与传感器技术至关重要。目前，人们正努力让半导体生产设备实现碳中和目标。为此，我们正在逐步放弃传统的电阻式加热方式，转而使用短波红外线加热技术。 这种技术的优点在于：可以直接对晶圆表面进行加热，无需先加热整个反应室来让晶圆达到理想温度。这样就能大幅减少废热产生...