柔性电子晶圆加热器

在生产线上，柔性电子晶圆无法容忍热波动。即使是稍微偏离的软烘烤都会导致下一个光刻步骤中的关键尺寸失控。温度过高的硬烘烤可能会导致薄膜层裂纹或引发应力迁移。其后果是废料、返工和批次产量损失，这种损失在整个批次中累积。 内部机制的重要性 我们围绕短波红外线构建了加热器，因此可以在基材上实现亚毫米的热均...