停止在晶圆干燥过程中浪费热量
说实话，晶圆制造过程中的大多数干燥步骤其实都相当于昂贵的“空间加热器”。我们投入了大量的能量，但其中很大一部分热量只是被墙壁反射掉或散失到机壳中。这无疑是一种能源的浪费，而且让人十分恼火。
我们找到了更好的方法。与其让这些能量白白浪费，不如使用镀金反射器，将能量精准地引导到需要加热的地方——也就是晶圆上。
关键在于黄金的作用。
普通的红外灯会将热量向各个方向散发。而黄金则能很好地反射长波和中等波长的红外光。通过用高纯度黄金包裹反射器，我们可以避免能量浪费，让能量重新回到被加热的物体上。
这样一来，虽然干燥速度不变，但你无需为那些从未接触到晶圆的能量付出代价。
关键还在于几何结构的设计。
我们并不是简单地在金属表面上涂上黄金而已。我们会将抛物面镜的焦点精确地对准晶圆表面。这样就能形成集中的“高温区”。由于热量如此集中，因此即使降低灯泡的功率，也能达到所需的表面温度，从而实现水分的快速蒸发。
不过有一点需要注意：要确保冷却系统正常工作。因为当大量能量集中在某个点时，灯泡的散热状况会受到影响。如果气流控制不当，就有可能烧坏灯泡。虽然这只是一个小小的调整，但对设备的使用寿命来说却至关重要。
这对工厂来说意味着什么？
你的能源消耗情况会明显改善。这是一种简单的方法，能够降低每块晶圆的制造成本。
最棒的是，这些更换部件可以直接替换原来的部件，无需拆除现有的电源装置或花费大量时间重新布线。只需更换反射器即可开始节省能源了。