用于晶圆的精密红外传感器

在运行100级洁净室时，所谓“几乎干净”是远远不够的。哪怕有那么一点点来自加热元件的杂质——那种肉眼根本看不见的微小颗粒——都会让整批晶圆报废。这简直就是一场噩梦。 因此，我们不再使用普通玻璃来制作红外灯。普通玻璃中含有各种杂质，这些杂质在高温下会分解，从而引发问题。我们转而使用高纯度的合成石英。...