石英舟加热灯制造

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可选项——它是热预算。软烘或硬烘温度偏差哪怕几分之一度，关键尺寸就会偏离。通过CD-SEM可以立即看到。我们设计的石英舟加热灯就是为消除这种变量而来。 技术关键点 这些加热灯通过高纯度石英发射短波红外线直接照射晶圆，传热速度快且受控严格。关键指标是石英舟内晶圆级温度均匀...