当加热器出现故障时，如何保持晶圆的清洁？ 如果你从事碳纳米管的生产工作，那么你肯定知道其中的难题。为了达到所需的温度，必须使用高功率的红外灯。但问题在于：在高负荷的生产环境中，这些灯管很容易破裂。 这真是噩梦般的情景——石英灯管破裂后，玻璃碎片和化学物质会溅到硅晶圆上，这样一来，晶圆的合格率就全毁...

别再让半导体加工设备变成“烤箱”了 普通的红外加热器有个坏习惯：它们会将热量散播到各个方向。当这些加热器被安装在一个空间狭小的设备外壳中时，那些热量并不会消失，而是会传递到外壳的内壁上。很快，整个设备外壳就会变成一个巨大的散热体。 结果就是：设备外壳的温度会高得无法触摸，而冷却系统则不得不拼命工作...