如何保持晶圆表面洁净：关于加热的真相
如果你在操作100级洁净室，那么你一定知道，空气过滤器只能解决一半的问题。真正的难题在于那些看不见的污染物。来自加热元件的气体排放以及微小颗粒，都可能在问题出现之前就破坏晶圆的质量。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外晶圆加热器的材料。这样就可以在污染发生之前就将其阻止。
为什么材料如此重要
其实，普通的玻璃或廉价石英在高温环境下很容易出现问题。它们会释放出离子或微小颗粒，从而污染工作区域。而高纯度石英则不会产生这些问题，因为它具有化学稳定性，不会让金属杂质附着在晶圆表面。此外，它还能让短波红外辐射顺利通过，而不会吸收这些辐射。这样一来，加热管就能保持相对低温，而晶圆则能得到足够的热量。
为实际应用而设计
我们了解工业用加热器常见的故障点，因此我们的设计旨在避免这些问题。例如，我们采用无胶密封方式，这样就不会因为粘合剂而产生气体污染。同时，我们还使用专用连接器来确保电气连接牢固，避免电弧生成或长期使用后出现性能下降的情况。
一个小贴士：如果你需要使用高功率设备进行快速热处理，那就要小心了。由于热量密度很高，必须确保冷却系统能够正常工作，否则加热腔体就会变形。
折中方案
虽然石英很坚固，但它也容易断裂。虽然它比大多数材料更能承受热冲击，但依然不是不可损坏的。一旦受到机械撞击或突然遇到冷水，石英管就可能会立刻破裂。为了避免这种情况，我们建议使用减震装置，以保持设备的稳定，从而避免应力裂纹的产生。
归根结底，我们只是摒弃了有机粘合剂，改用高纯度二氧化硅。这很简单——只要使用不会产生反应的材料，就能得到干净的晶圆。就这么简单。