正确加热硅片的方法 在加热硅片时，每一瓦特的能量都至关重要。关键不在于提高加热功率，而在于确保能量能够真正作用在硅片上，而不是只让炉腔壁变热而已。 这时，镀金反射器就派上用场了。 为什么选择黄金？ 普通的石英灯会将能量向各个方向散射。在常规情况下，大约有一半的能量被浪费掉了。 我们通过在反射器表面...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可选项——它是热预算。软烘或硬烘温度偏差哪怕几分之一度，关键尺寸就会偏离。通过CD-SEM可以立即看到。我们设计的石英舟加热灯就是为消除这种变量而来。 技术关键点 这些加热灯通过高纯度石英发射短波红外线直接照射晶圆，传热速度快且受控严格。关键指标是石英舟内晶圆级温度均匀...

在晶圆厂车间，你会很快了解到，即使软烘烤曲线漂移了半度，也会导致光刻胶厚度变化，从而引起晶圆上的关键尺寸偏差。硬烘烤的不均匀会使情况更糟，表现为显影后残渣或图案转移后的蚀刻残留。晶圆加热支持不仅仅是加热——必须在工艺发生的关键位置提供真正的热控纪律。 关键技术细节 我们将晶圆加热模块设计基于近红外...

红外加热涂装：当车间寒冷难耐时，卤素加热器如何为你取暖 你有没有在冬天的车间或冷藏区工作过？你一定很熟悉这种情况。空气可能是温暖的，但你的手和脚却冰冷刺骨。普通的加热方式似乎无法温暖你的四肢末端。 所以我们设计了不同的方案。我们的红外加热涂装系统使用短波卤素加热管，将热量精确输送到你需要的地方。这...