量子点制造加热器

在线上，温度不是可以调节的旋钮——它是一个硬性边界。在量子点（QD）制造过程中，光刻胶处理、退火和量子点层形成阶段的热预算决定了线宽控制、缺陷密度和良率。晶圆上仅几度的漂移、烘烤响应滞后，或洁净室空气中颗粒的激增——任何一项都可能将一次良好批次变成废品。 我们开发了量子点制造加热器，旨在消除这些不...