用于光刻机的石英玻璃防护罩

如何保持洁净室的清洁：关于加热装置的真相 在半导体和光学领域，哪怕是一粒微小的灰尘也会带来灾难性后果——它足以毁掉整块晶圆。 问题在于：大多数红外加热器都会产生污染物。当它们工作时，会释放出微小的颗粒物。为避免这些颗粒物破坏产品，我们使用高纯度的石英玻璃作为保护层。可以说，它就是为晶圆提供保护的“...