带气刀装置的红外线灯

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可有可无的工序——它直接关联到热预算，简单明了。1℃的温差就可能导致关键尺寸偏移，而一颗来自高温区的微粒就可能毁掉大量合格芯片。这就是为什么我们设计了配备风刀单元的红外灯，将这些现实视为基本条件而非例外。 核心要点 我们将短波红外发射器与高速风刀结合使用。发射器响应时间...