工厂干燥系统的能源审计

停止在晶圆干燥过程中浪费热量 说实话，晶圆制造过程中的大多数干燥步骤其实都相当于昂贵的“空间加热器”。我们投入了大量的能量，但其中很大一部分热量只是被墙壁反射掉或散失到机壳中。这无疑是一种能源的浪费，而且让人十分恼火。 我们找到了更好的方法。与其让这些能量白白浪费，不如使用镀金反射器，将能量精准地...