停止在传感器封装过程中浪费热量 如果你曾经花费时间来处理智能传感器的晶圆，那么你一定了解其中的不便之处。虽然你会向机器输入大量电能，但其中很大一部分能量却白白浪费掉了——这些能量会泄漏到机壳中，无法真正作用于晶圆上。这既浪费了能源，也浪费了时间。 我们找到了一个方法来阻止这种能量的流失，那就是使用...

在晶圆制造过程中，如何正确运用红外线加热与传感器技术至关重要。目前，人们正努力让半导体生产设备实现碳中和目标。为此，我们正在逐步放弃传统的电阻式加热方式，转而使用短波红外线加热技术。 这种技术的优点在于：可以直接对晶圆表面进行加热，无需先加热整个反应室来让晶圆达到理想温度。这样就能大幅减少废热产生...

在干燥过程中保持MEMS晶圆的无尘状态 如果你身处100级洁净室中，那么你一定知道，由于气体释放或杂质污染而导致的麻烦有多糟糕。这种情况通常发生在干燥阶段。大多数普通加热器根本无法满足这一需求——因为一旦开始加热，它们就会释放出微小的颗粒物，或是挥发性的有机化合物。 因此，我们选择使用高纯度的合成...

如何在不引发爆炸的情况下加热物品 制造氢气传感器时需要使用高温，但这里有个问题：在处理易挥发的化学清洁剂时，这种高温反而可能带来危险。只要有一个火花或者表面温度稍高一点，就有可能引发火灾。这显然不是任何人希望看到的情况。 因此，我们不能随便使用普通的加热器。我们必须使用专为这种危险环境设计的红外灯...

在运行100级洁净室时，所谓“几乎干净”是远远不够的。哪怕有那么一点点来自加热元件的杂质——那种肉眼根本看不见的微小颗粒——都会让整批晶圆报废。这简直就是一场噩梦。 因此，我们不再使用普通玻璃来制作红外灯。普通玻璃中含有各种杂质，这些杂质在高温下会分解，从而引发问题。我们转而使用高纯度的合成石英。...