中国晶圆干燥机制造商

在晶圆厂生产线，光刻胶烘烤过程中发热漂移半摄氏度就足以影响线宽并导致良率下降。温度控制不能靠猜测——你需要像真正的工艺参数一样的热控，而不是一个不停变化的目标。 技术要点 我们围绕重复性打造了晶圆烘干机：晶圆级均匀性控制在±0.1℃内，设定点在软烘和硬烘过程中保持稳定，升温速率满足光刻胶的热预算要...