在运行100级洁净室时，所谓“几乎干净”是远远不够的。哪怕有那么一点点来自加热元件的杂质——那种肉眼根本看不见的微小颗粒——都会让整批晶圆报废。这简直就是一场噩梦。
因此，我们不再使用普通玻璃来制作红外灯。普通玻璃中含有各种杂质，这些杂质在高温下会分解，从而引发问题。我们转而使用高纯度的合成石英。这种材料更加稳定，也能保持清洁状态。
不再有有害气体
大多数红外灯在受热后都会释放出各种污染物。我们则去掉了所有这些有害物质。
由于使用了高纯度石英，其表面保持惰性状态，不必担心会有化学物质附着在晶圆上。此外，我们还非常注重密封工艺，确保钨丝不会接触到任何氧气，从而避免灯管变模糊。只要灯管保持透明，其红外辐射效率就能保持较高水平。就这么简单。
将热量精准地传递到所需位置
这类灯的升温速度非常快。我们选择短波红外辐射，因为这样能让热量直接穿透晶圆基底，而不仅仅是加热周围的空气。这样可以实现更精确的温度控制。
不过需要注意的是，这种高热量密度其实相当危险。请检查灯具的安装支架，如果机箱无法承受石英受热后的膨胀，就可能会给灯管带来过大压力。
轻松更换灯具
我们设计的这些灯具可以直接替换，无需复杂操作。它们的结构设计很合理，灰尘无处藏身。
由于质量上乘，石英表面几乎不会出现变色现象。这是最大的优点——无需频繁更换灯具，也就不必每周都破坏洁净室的密封性了。
最后一点：请确保电源稳定。一旦电压出现波动，就可能导致灯丝损坏，而这种情况比石英本身磨损要快得多。