晶圆加热的安全距离

正确加热硅片的方法 在加热硅片时，每一瓦特的能量都至关重要。关键不在于提高加热功率，而在于确保能量能够真正作用在硅片上，而不是只让炉腔壁变热而已。 这时，镀金反射器就派上用场了。 为什么选择黄金？ 普通的石英灯会将能量向各个方向散射。在常规情况下，大约有一半的能量被浪费掉了。 我们通过在反射器表面...