停止在晶圆干燥过程中浪费热量 说实话，晶圆制造过程中的大多数干燥步骤其实都相当于昂贵的“空间加热器”。我们投入了大量的能量，但其中很大一部分热量只是被墙壁反射掉或散失到机壳中。这无疑是一种能源的浪费，而且让人十分恼火。 我们找到了更好的方法。与其让这些能量白白浪费，不如使用镀金反射器，将能量精准地...

在干燥过程中保持MEMS晶圆的无尘状态 如果你身处100级洁净室中，那么你一定知道，由于气体释放或杂质污染而导致的麻烦有多糟糕。这种情况通常发生在干燥阶段。大多数普通加热器根本无法满足这一需求——因为一旦开始加热，它们就会释放出微小的颗粒物，或是挥发性的有机化合物。 因此，我们选择使用高纯度的合成...