如何保持洁净室的清洁：关于加热装置的真相 在半导体和光学领域，哪怕是一粒微小的灰尘也会带来灾难性后果——它足以毁掉整块晶圆。 问题在于：大多数红外加热器都会产生污染物。当它们工作时，会释放出微小的颗粒物。为避免这些颗粒物破坏产品，我们使用高纯度的石英玻璃作为保护层。可以说，它就是为晶圆提供保护的“...

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可选项——它是热预算。软烘或硬烘温度偏差哪怕几分之一度，关键尺寸就会偏离。通过CD-SEM可以立即看到。我们设计的石英舟加热灯就是为消除这种变量而来。 技术关键点 这些加热灯通过高纯度石英发射短波红外线直接照射晶圆，传热速度快且受控严格。关键指标是石英舟内晶圆级温度均匀...