バイオセンサー製造用赤外線ランプ
IRランプが火災の危険源になるのを防ぎましょう。
バイオセンサーを製造する際には、硬化や乾燥のために正確な熱が必要です。しかし問題は、可燃性の洗浄剤の近くでその作業を行う場合、通常のIRランプは単なる工具ではなく、むしろ危険な存在となり得ます。少しでもミスがあれば、大惨事につながります。
そのため...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
なぜ赤外線硬化が無鉛センサーに適しているのか
バイオセンサーを製造する際、熱という要素をうまく扱わなければなりません。接着剤やポリマーを完璧に硬化させる必要がありますが、少しでも間違えると、敏感な素子が損傷してしまいます。
だからこそ、私たちは赤外線ランプを使うのです。
通常の対流式オーブンを考え...
ツインチューブ型ゴールドコーティングランプ
クリーンルームを実際に清潔な状態に保つための秘訣：クラス100の加熱技術
クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その厳しさはご存知でしょう。ミスの余地は一切ありません。わずかな汚れや、ヒーターから出る微量のガスでも、作業した製品全体が台無しになってしまいます。
一般的なヒーターでは、こ...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされた反射板が重要なのか
クリーンルームで作業したことがある人なら、エネルギー効率を損なうことなくウェーハを適切な温度に保つのがどれほど難しいかわかるでしょう。
問題は、一般的なIRランプは熱をあらゆる方向に放出するという点です。つまり、360度に熱が漏れ...
洗浄用防水赤外線ランプ
熱の漏れを防ぐ：洗浄工程用の防水型IRランプ 正直に言えば、ファブラボでの洗浄工程というのは、熱エネルギーが無駄になってしまう場所です。基板を適切な温度に持ってくるために多大な労力を費やしても、基板が水に触れる瞬間にその熱が消えてしまいます。
そこで私たちは防水型の赤外線ランプを使用します。これに...
ファブラムランプ用クォーツガラスシールド
クリーンルームを実際に清潔に保つために：加熱に関する真実
半導体や光学製品の分野では、ほんのわずかなほこりでさえも大問題です。それは一瞬でウェハー全体をダメにしてしまう可能性があります。
問題は、ほとんどの赤外線ヒーターが汚れやすいという点です。加熱されると、微細な破片が放出されてしまいます。この...
認定済みの赤外線硬化ランプ製造業者
クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームで作業する際、熱は厄介な問題です。単に温度を適切に保つだけでは不十分です。見えない微細な粒子も問題となります。
ほとんどの加热要素は、このような環境では使い物になりません。加熱や冷却のたびに、微細な粒子が放出され...
ウェーハ硬化ランプ用反射板
ファブ内の適切な温度管理
ウエハの硬化処理を行ったことがある人なら、ウエハが歪んだり、化学物質が不均一に付着するという問題をご存知でしょう。これは、熱が表面に均等に届いていないからです。
そのため、私たちは高反射率のIRシステムを利用します。単に熱をあちこちに放出するのではなく、この反射器を使って...
半導体用金コーティング赤外線ランプ
ウェーハを加熱する代わりに、装置自体を加熱しないようにしましょう。
ほとんどの赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位に熱が飛び散るのです。そのようなランプを半導体製造装置内に使うと、大量のエネルギーが無駄になってしまいます。
その熱がウェーハに当たる代わりに、装置の内...
バイオセンサーの製造に用いられる赤外線ランプ
なぜ、バイオセンサーやチップの製造において、オーブンの代わりに赤外線ランプを使うのか？
バイオセンサーを作る際には、微妙なバランスが求められます。接着剤やポリマーを硬化させるためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えると、センサーの生物学的な部分が壊れてしまいます。つまり、非常に繊細なバランスが...
カーボンファイバー赤外線ランプ工場
半導体製造用の装置を「オーブン」にしてしまうのはやめましょう。 通常の赤外線ヒーターは、熱があちこちに漏れ出すという欠点があります。狭い筐体の中に入れてしまうと、その熱は消えることはなく、筐体の内壁に当たります。その結果、筐体全体が巨大な放熱器のように機能してしまいます。
その結果、筐体の表面が触...
オゾンフリー赤外線ランプ
ウェーハ加熱を最大限に活用するためのコツ
半導体ウェーハを扱う際には、大気中の不要な成分が介入してはいけません。そのため、オゾンを含まないIRランプが最適です。しかし、実際にはランプ自体だけでは不十分です。本当の効果は、光子をどのように扱うかにかかっています。
なぜ金を使うのか
多くの人はアルミニ...
IRランプ用アルミニウム反射板
アルミニウム製反射器を備えたIRランプ：現代のスマートファクトリーに不可欠な熱源 つまり、将来のIndustry 4.0対応のスマートファクトリーに必要な熱供給システムを構築しているわけです。どのような加熱技術を選ぶかは、非常に重要な決断です。 高度で高密度の熱が必要な場合は、優れた赤外線システム...
SiCウェーハ加工用ヒーターランプ
ライン上では、そのSiCウェーハはそこに静かに置かれており、パターンを固定するためのフォトレジストの焼成を待っているだけです。わずか数分の1度の温度変動であっても、重要な寸法制御が乱れてしまい、エッチャーが働く前から歩留まりが低下してしまいます。
実際に重要なのは何か？ 私たちは、クォーツ製のケー...
エアナイフユニット付き赤外線ランプ
ファブフロアでのフォトレジスト焼成 フォトレジストの焼成は、単なるオプションではなく、明確にあなたの熱的予算です。1℃の変動が重要な寸法に影響を与え、ホットゾーンからの1つの粒子が多くの良品を台無しにする可能性があります。だからこそ、私たちはこれらの現実を例外ではなく基準として扱う赤外線ランプとエ...
クォーツボート加熱ランプファブ
フィルム製造におけるフォトレジストの焼成 ファブフロアでは、フォトレジストの焼成は選択肢ではなく、熱予算です。ソフトベイクまたはハードベイクがたとえわずかにでも温度がずれれば、重要寸法が狂います。それはCD-SEMで即座に確認できます。私たちは、この変動を排除するために、石英ボート加熱ランプを設計...