ファブ内の適切な温度管理
ウエハの硬化処理を行ったことがある人なら、ウエハが歪んだり、化学物質が不均一に付着するという問題をご存知でしょう。これは、熱が表面に均等に届いていないからです。
そのため、私たちは高反射率のIRシステムを利用します。単に熱をあちこちに放出するのではなく、この反射器を使って短波放射を必要な場所に正確に向けます。現代のファブでは、これらは単なる装飾的な鏡ではありません。実際には、処理時間を短縮し、エネルギーコストを抑えるための重要な要素なのです。
エネルギーが実際にどこに行くか
通常のIRランプは、360度全方位にエネルギーを放出します。反射器がなければ、機械の筐体自体が加熱されてしまい、それは完全な無駄遣いです。
私たちの反射器は、逃げていくエネルギーを捉えて、再びウエハに戻すように設計されています。このようにして、表面により集中した熱が与えられます。最良の点は、作業を完了させるために出力を上げる必要がないことです。これにより、全体のシステムがコンパクトで効率的になります。
材料について
予算やニーズに応じて、一般的には金メッキされたものや高純度のアルミニウムが使用されます。金は赤外線を他のどんな材料よりもうまく扱えるため、最良の選択肢です。しかし、初期コストは高くなります。
しかし、最も問題になるのは酸化です。表面を常に注意深く見ておく必要があります。コーティングが劣化し始めると、熱の分布が乱れます。そうなると、ウエハに「冷たい部分」ができ、問題が発生します。
ヒント：システムをデジタルコントローラーに接続し、消費電力を監視してください。同じ温度を維持するために余計な電力が消費されている場合、反射器が汚れているか酸化している可能性があります。その場合は交換が必要です。
トレードオフ
ただし、熱をこれほど集中させると、物が非常に高温になります。冷却装置が十分でない場合、問題が起こります。十分な空気の流れや効果的な放熱装置がなければ、ランプの電極が過熱し、管が早く壊れてしまいます。
すべてはバランスの取り方次第です。適切な熱負荷を保てば、すべてうまく機能します。