光学ウェーハ処理ヒーター

ファブフロアでは、フォトレジスト処理において熱ドリフトは許されない。ソフトベイクやハードベイク中にウェハ全体で0.5℃の温度差があると、その差がライン幅のばらつきとして現れ、ひとつのパーティクルによる異物混入が多くの不良を引き起こす可能性がある。必要なのは、変動要因ではなく、固定されたプロセス定数...