ウェーハを加熱する代わりに、装置自体を加熱しないようにしましょう。 ほとんどの赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位に熱が飛び散るのです。そのようなランプを半導体製造装置内に使うと、大量のエネルギーが無駄になってしまいます。 その熱がウェーハに当たる代わりに、装置の内...

なぜIR加熱がファブでホットエアより優れているのか ほとんどの半導体製造ラインでは、依然として昔ながらの方法が使われています。つまり、空気を温めて、その空気によって部品が加熱されることを期待するのです。これは、廊下にヘアドライヤーを向けて部屋を暖めようとするのと同じです。大きな遅延が生じます。 だ...

より環境に優しい半導体製造拠点を実現するための、セミコンダクターヒーターの配線に関する真実 もし半導体製造拠点で二酸化炭素排出量を削減したいのであれば、単に赤外線ランプに置き換えるだけでは不十分です。その技術を導入しても、うまくいくとは限りません。本当の問題はインフラです。もし配線が高い熱密度に耐...