半導体製造用の装置を「オーブン」にしてしまうのはやめましょう。
通常の赤外線ヒーターは、熱があちこちに漏れ出すという欠点があります。狭い筐体の中に入れてしまうと、その熱は消えることはなく、筐体の内壁に当たります。その結果、筐体全体が巨大な放熱器のように機能してしまいます。
その結果、筐体の表面が触れられないほど熱くなり、電子部品が壊れないように冷却システムを使って必死に対処しなければなりません。本当に厄介です。
「オーブン効果」を解決する方法
私たちは炭素繊維フィラメントを使ってこの問題を解決します。
従来の石英コイルは、あらゆる方向に光を放つ電球のようなものです。しかし、これらのランプは異なります。フィラメントの形状を調整し、反射板を追加することで、赤外線エネルギーをウェーハや基板に直接照射するのです。
そうすることで、熱が必要な場所に正確に届きます。エネルギーが筐体内を跳ね回ることがないので、筐体の内壁は冷たいままです。
注意点（何かしらの問題は必ずあります）
指向性のあるランプは、より集中した熱を与えてくれますが、単純に取り付けるだけではいきません。
焦点距離を正しく設定する必要があります。もし適切でない距離に取り付けると、ワークピースに冷たい部分や均一でない加熱が生じます。もし広角度型のヒーターが使われているシステムにこれを取り付ける場合は、必ず間隔をしっかり確認してください。適当に扱ってはいけません。
チームと機器にとってのメリット
最も良い点は、実際に操作する際の快適さです。技術者たちは、簡単なチェックを行う際にも筐体に手を焼くことはありません。これは、実際に機械に触れなければならない人々にとって大きな安心感です。
また、センサーや配線も過度な熱によってダメージを受けることはありません。筐体の壁が余分な熱を吸収しなくなるので、内部の部品の寿命も長くなります。
破損しやすい、熱でダメージを受けたケーブルを交換する時間が減るため、実際に生産を行う時間が増えます。それだけです。