クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
熱の無駄遣いをやめよう:なぜ金コーティングされた反射板が重要なのか
クリーンルームで作業したことがある人なら、エネルギー効率を損なうことなくウェーハを適切な温度に保つのがどれほど難しいかわかるでしょう。
問題は、一般的なIRランプは熱をあらゆる方向に放出するという点です。つまり、360度に熱が漏れ...
クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター
赤外線を利用してクリーンルーム内の二酸化炭素排出を削減する
半導体製造工場で働いたことがある人なら、従来の対流式オーブンの問題点はよく知っているでしょう。それらはエネルギー消費量が非常に多いのです。なぜかというと、ウェハーが何も感じる前に、まずチャンバー内の空気全体を加熱するために大量の電力が使わ...