クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームで作業する際、熱は厄介な問題です。単に温度を適切に保つだけでは不十分です。見えない微細な粒子も問題となります。
ほとんどの加热要素は、このような環境では使い物になりません。加熱や冷却のたびに、微細な粒子が放出されてしまいます。半導体や医療機器の製造現場では、これは大惨事につながります。わずか一つの微小な粒子でも、ウェーハ全体を破壊してしまう可能性があります。
そのため、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しています。
材料が重要な理由
私たちは、不純物がほとんど含まれていない融結シリカを使用しています。なぜでしょうか？安価なガラスや低品質の石英は、高温になると割れたり、粒子を放出したりしてしまいます。一方、私たちが使用する管材は、どんなに急激に温度が変化しても変形せず、粒子を放出しません。つまり、安定して機能します。
汚染を防ぐための設計
工業用のヒーターをそのままクリーンルームに使うことはできません。そんな方法ではうまくいきません。私たちは、有機系の接着剤や低融点のはんだなど、分解して空気中に汚染物質を放出するようなものを一切排除しました。使用するすべての部品は、安定性が高いものを選んでいます。また、密封部分もしっかりしているので、ハロゲンガスが外に漏れ出ることはありません。
ちなみに、私たちは通常、短波長の赤外線を利用します。これにより、基材の深層まで効果的に作用し、硬化処理の時間を大幅に短縮できます。**速度こそが重要です。**サイクルが速ければ速いほど、空気中の粒子が製品に付着する時間も短くなります。
問題点とその対処法
ただし、高純度の石英には大きな弱点があります。それは、もろいということです。非常に高い温度には耐えられますが、振動には弱いのです。もし装置が振動したり、本体が揺れたりすると、問題が発生します。適切な固定具がなければ、管材が割れてしまいます。ですから、固定具を正確に調整する必要があります。ガラスに過度な負荷がかからないように注意しましょう。そうしないと、ランプを頻繁に交換しなければならなくなります。