SiCウェーハ加工用ヒーターランプ

ライン上では、そのSiCウェーハはそこに静かに置かれており、パターンを固定するためのフォトレジストの焼成を待っているだけです。わずか数分の1度の温度変動であっても、重要な寸法制御が乱れてしまい、エッチャーが働く前から歩留まりが低下してしまいます。 実際に重要なのは何か？ 私たちは、クォーツ製のケー...