ウェーハ乾燥工程での熱の無駄遣いをやめましょう。
正直言って、ウェーハ製造プロセスにおける乾燥工程は、実質的に高価なヒーターと同じです。大量のエネルギーが消費されますが、そのうちかなりの量が壁に反射したり、筐体の外に漏れてしまいます。これはエネルギーの無駄であり、非常にもったいないことです。
私たちは、より良い方法を見つけ出しました。そのエネルギーを無駄にしないように、金でコーティングされた反射板を使って、エネルギーを正確にウェーハに向けて送ります。
鍵は金にあります。
通常のIRランプは、熱をあらゆる方向に放出します。しかし、金は長波長および中波長のIRを効果的に反射します。高純度の金で反射板をコーティングすることで、エネルギーの無駄を防ぎ、そのエネルギーを再び製品に戻すことができます。
その結果、同じ乾燥速度が得られますが、実際にウェーハに届かないエネルギーの代金を支払う必要がなくなります。
重要なのは幾何学的配置です。
単に金属に金を塗るだけではありません。放物線の焦点をウェーハ面と完全に一致させることで、集中した「高温帯」を作り出します。熱が集中しているため、ランプの出力を下げても、水分を迅速に蒸発させるのに十分な表面温度が得られます。
ただ一つ注意点があります。冷却システムにも気を配る必要があります。大量のエネルギーが一点に集中すると、ランプのケースに負担がかかります。空気の流れが適切でなければ、ソケットが壊れたり、ランプが破損する可能性があります。小さな調整ですが、装置の寿命にとっては重要です。
これが現場に与える影響は？
エネルギー消費の状況が大幅に改善されます。これは、各ウェーハのコストを数セント削減するための簡単な方法です。
そして最も良い点は、これらはそのまま交換可能だということです。電源装置を取り外したり、一週末かけて配線を再設定する必要はありません。反射板を交換するだけで、すぐに節約が始まります。