クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター

赤外線を利用してクリーンルーム内の二酸化炭素排出を削減する 半導体製造工場で働いたことがある人なら、従来の対流式オーブンの問題点はよく知っているでしょう。それらはエネルギー消費量が非常に多いのです。なぜかというと、ウェハーが何も感じる前に、まずチャンバー内の空気全体を加熱するために大量の電力が使わ...