ウェーハ治具用温度センサー

ウェーハ製造工程における赤外線加熱とセンシングの最適化 現在、半導体製造装置をよりカーボンニュートラルなものにするための取り組みが活発に行われています。そのため、従来の抵抗式加熱から離れて、短波長の赤外線を利用する方向に進んでいます。 こうすることで、ウェーハ表面を直接加熱できるのです。ウェーハを...