ウェーハ乾燥工程での熱の無駄遣いをやめましょう。 正直言って、ウェーハ製造プロセスにおける乾燥工程は、実質的に高価なヒーターと同じです。大量のエネルギーが消費されますが、そのうちかなりの量が壁に反射したり、筐体の外に漏れてしまいます。これはエネルギーの無駄であり、非常にもったいないことです。 私た...

乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを利用しているのであれば、ガスが発生したり、不要な粒子が存在するという問題をご存知でしょう。これは通常、乾燥段階で起こります。一般的なヒーターでは、加熱されると微細な破片が飛び散ったり、揮発性有機化合物...