MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを利用しているのであれば、ガスが発生したり、不要な粒子が存在するという問題をご存知でしょう。これは通常、乾燥段階で起こります。一般的なヒーターでは、加熱されると微細な破片が飛び散ったり、揮発性有機化合物...