クォーツボート加熱ランプファブ

フィルム製造におけるフォトレジストの焼成 ファブフロアでは、フォトレジストの焼成は選択肢ではなく、熱予算です。ソフトベイクまたはハードベイクがたとえわずかにでも温度がずれれば、重要寸法が狂います。それはCD-SEMで即座に確認できます。私たちは、この変動を排除するために、石英ボート加熱ランプを設計...