SiC晶圆加工加热灯

在生产线上，那片SiC晶圆就那样静静地待着，等待着光刻胶的固化处理，从而确定其图案的精确形状。哪怕温度只有几分之一度的变化，都可能导致关键尺寸的控制失准——甚至在蚀刻工序开始之前，产品的良率就已经开始下降。 实际上，真正重要的是什么？ 我们在石英封装内使用了短波近红外卤素加热灯，这种灯具有快速的热...