碳纳米管制造加热器

当加热器出现故障时，如何保持晶圆的清洁？ 如果你从事碳纳米管的生产工作，那么你肯定知道其中的难题。为了达到所需的温度，必须使用高功率的红外灯。但问题在于：在高负荷的生产环境中，这些灯管很容易破裂。 这真是噩梦般的情景——石英灯管破裂后，玻璃碎片和化学物质会溅到硅晶圆上，这样一来，晶圆的合格率就全毁...