节能晶圆加热器

如何保持晶圆表面洁净：关于加热的真相 如果你在操作100级洁净室，那么你一定知道，空气过滤器只能解决一半的问题。真正的难题在于那些看不见的污染物。来自加热元件的气体排放以及微小颗粒，都可能在问题出现之前就破坏晶圆的质量。 因此，我们选择使用高纯度的合成石英作为红外晶圆加热器的材料。这样就可以在污染...