洁净室烤箱红外加热器

利用红外线技术在洁净室中减少碳排放 如果您曾在半导体制造厂工作过，那么您一定了解传统对流式烘箱的缺点。这类烘箱极其耗能——因为在晶圆开始受热之前，它们就要消耗大量电能来加热腔室内的空气。这无疑是一种浪费。 我们找到了更好的方法：不再加热空气，而是使用红外线直接照射晶圆或基板。虽然只是简单的改变，但...