ウェーハ硬化ランプ用反射板

ファブ内の適切な温度管理 ウエハの硬化処理を行ったことがある人なら、ウエハが歪んだり、化学物質が不均一に付着するという問題をご存知でしょう。これは、熱が表面に均等に届いていないからです。 そのため、私たちは高反射率のIRシステムを利用します。単に熱をあちこちに放出するのではなく、この反射器を使って...