なぜ、古いバスルーム用のランプヒーターをIP44対応の赤外線ヒーターに置き換えるのかというと、それは以下の理由からです。 つまり、古いタイプのバスルーム用ヒーターというのは、明るくて熱い光を放つものですよね。これらはずっと前から使われてきましたが、実際にはあまり優れていないんです。大量の電力を消費...

なぜIR加熱がファブでホットエアより優れているのか ほとんどの半導体製造ラインでは、依然として昔ながらの方法が使われています。つまり、空気を温めて、その空気によって部品が加熱されることを期待するのです。これは、廊下にヘアドライヤーを向けて部屋を暖めようとするのと同じです。大きな遅延が生じます。 だ...

フィルム製造におけるフォトレジストの焼成 ファブフロアでは、フォトレジストの焼成は選択肢ではなく、熱予算です。ソフトベイクまたはハードベイクがたとえわずかにでも温度がずれれば、重要寸法が狂います。それはCD-SEMで即座に確認できます。私たちは、この変動を排除するために、石英ボート加熱ランプを設計...

ファブフロアでは、ソフトベイクのプロファイルがわずか0.5℃ずれるだけで、フォトレジストの厚みが変化し、ウェーハ全体のクリティカルディメンションバイアスに影響を与えることをすぐに理解します。ハードベイクの非均一性はそれを悪化させ、現像後のスカムやパターントランスファー後のエッチング残渣として現れま...