クリーンルームを実際に清潔な状態に保つための秘訣：クラス100の加熱技術 クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その厳しさはご存知でしょう。ミスの余地は一切ありません。わずかな汚れや、ヒーターから出る微量のガスでも、作業した製品全体が台無しになってしまいます。 一般的なヒーターでは、こ...

ウェーハを加熱する代わりに、装置自体を加熱しないようにしましょう。 ほとんどの赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位に熱が飛び散るのです。そのようなランプを半導体製造装置内に使うと、大量のエネルギーが無駄になってしまいます。 その熱がウェーハに当たる代わりに、装置の内...

危険な化学物質を扱う際には、通常の加熱装置では不十分です。それは大きな危険を伴います。そのため、私たちは金製の反射板を備えた赤外線加熱ランプを開発しました。これは、このような過酷な状況に特化して設計されているのです。つまり、化学物質が飛び散っても、火災や故障の心配なく、強烈で集中した熱を供給できる...