ウェーハ加熱用の安全距離

シリコンウェーハの適切な加熱方法 シリコンウェーハを加熱するときは、1ワットというエネルギーも無駄にできません。単に温度を上げるだけでは不十分で、エネルギーが実際にウェーハに届くようにしなければなりません。そうでなければ、チャンバーの壁だけが温まってしまいます。 ここで役立つのが、金コーティングさ...