クリーンルームを実際に清潔な状態に保つための秘訣：クラス100の加熱技術 クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その厳しさはご存知でしょう。ミスの余地は一切ありません。わずかな汚れや、ヒーターから出る微量のガスでも、作業した製品全体が台無しになってしまいます。 一般的なヒーターでは、こ...

ウェーハを加熱する代わりに、装置自体を加熱しないようにしましょう。 ほとんどの赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位に熱が飛び散るのです。そのようなランプを半導体製造装置内に使うと、大量のエネルギーが無駄になってしまいます。 その熱がウェーハに当たる代わりに、装置の内...