量子ドット製造用ヒーター

ライン上で温度は調整可能なつまみではなく、厳格な境界条件である。量子ドット（QD）製造において、フォトレジスト処理、アニーリング、QD層形成時の熱予算がライン幅の制御、欠陥密度、歩留まりを決定する。ウェハ全体で数℃のドリフト、ベーク応答の遅れ、クリーンルーム空気中の粒子の急増など、いずれか一つでも...