センサーの包装における熱の無駄遣いを止めよう スマートセンサー用のウェーハを加熱処理する際に、その煩わしさを経験したことがある人ならわかるでしょう。機械に多くのエネルギーを供給しているにもかかわらず、そのエネルギーの大部分が無駄になってしまいます。エネルギーはケーシング内に漏れ出し、実際に基板に届...

ウェーハ製造工程における赤外線加熱とセンシングの最適化 現在、半導体製造装置をよりカーボンニュートラルなものにするための取り組みが活発に行われています。そのため、従来の抵抗式加熱から離れて、短波長の赤外線を利用する方向に進んでいます。 こうすることで、ウェーハ表面を直接加熱できるのです。ウェーハを...

乾燥処理中にMEMSウェーハをきれいな状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを利用しているのであれば、ガスが発生したり、不要な粒子が存在するという問題をご存知でしょう。これは通常、乾燥段階で起こります。一般的なヒーターでは、加熱されると微細な破片が飛び散ったり、揮発性有機化合物...

爆発を起こさずに加熱する方法 水素センサーを作るにはかなりの熱が必要ですが、問題があります。揮発性の化学物質がある場所で作業するとき、その熱が危険因子となります。わずかな火花や、少しでも過度に高温になった表面があれば、瞬時に火災が発生してしまいます。これは誰も望まない状況です。 だからこそ、私たち...

クラス100のクリーンルームで作業を行う際には、「ほぼ清潔」というだけでは不十分です。ヒーター要素から出る微細な破片——目に見えないほどのものでも——があれば、そのワッフル全体が無価値になってしまいます。本当に最悪な状況です。 そのため、私たちは赤外線ランプに通常のガラスを使わなくなりました。通常...