ウェーハ脱気用赤外線ヒーター

リソグラフィーフロアでは、ソフトベイクの際にウェーハ全体で2°Cもの温度上昇が起こると、重要な寸法が変わってしまい、長時間の露光処理が無駄になってしまいます。毎回の工程ごとに温度変動を追跡するわけにはいきません。ウェーハデガス化用の赤外線ヒーターを使えば、適切な温度管理が可能になります。つまり、温...