中国のウェーハ乾燥機メーカー

ファブフロアでの温度管理 フォトレジストのベーク中にわずか0.5℃のドリフトが発生するだけで、ライン幅に影響を及ぼし、歩留まりの低下を引き起こします。温度をただの推測ゲームのように扱うことはできません。温度管理は安定したプロセスパラメータとして機能しなければならず、移り変わる目標値のように扱っては...