空気を加熱するのをやめよう：半導体を乾燥させるためのより良い方法
半導体を製造する際には、水分を除去することが不可欠です。しかし長年にわたり、一般的には大型の対流式オーブンが使われてきました。問題点は、これらのオーブンが非常に多くのエネルギーを消費することです。わずかな部分を乾燥させるためだけに、チャンバー全体、つまり空気の隅々まで加熱されてしまいます。これは明らかな無駄遣いです。
そこで私たちはデジタルIR乾燥機のコントローラーを採用しました。部屋全体を温める代わりに、放射熱を利用して、実際に乾燥が必要な部分のみを加熱します。
IR乾燥機の仕組み
デジタルコントローラーはまるで脳のような役割を果たします。PID制御やPWM信号を使って、ランプにどれだけの電力を供給すべきかを正確に指示します。エネルギーが直接ウェハーや基板に届くため、周囲の空気を温めるためのエネルギーは不要になります。これはコスト削減に大いに役立ちます。また、このコントローラーは高速に動作するように設計されており、数分ではなく数秒で目標温度に到達します。
ハードウェアの面（そして注意点）
通常、このコントローラーは短波または中波のIRランプと一緒に使用されます。高ワット数のランプを使えば、乾燥にかかる時間はさらに短縮されます。ただし、その場合、ランプは大量の電力を消費します。システムが起動した時の急激な電力増加に対応できるよう、配線やブレーカーをしっかりと準備しておく必要があります。また、冷却も重要です。周囲が過度に高温になると、その熱がセンサーの読み取り値に影響を与え、修理が困難になります。
実際に「グリーン」な目標を達成する
炭素ニュートラルについてはよく耳にしますが、実現するのは難しいです。しかし、デジタルIRコントロールを使えば、kWhの消費量を大幅に削減できるため、実現が容易になります。また、この装置は省スペースで、廃熱もほとんど発生しません。さらに、コントローラーは実際の電力消費量をリアルタイムで監視します。炭素監査の時には、推測する必要がなく、正確なデータが得られます。つまり、古くて効率の悪い加熱装置の代わりに、部品が実際に加熱される時だけ電力を消費するシステムに切り替えるのです。同じ生産能力を維持しながら、エネルギーの無駄遣いを防ぐことができます。これは、より賢明的な作業方法です。