空気を加熱するのをやめよう：半導体を乾燥させるためのより良い方法 半導体を製造する際には、水分を除去することが不可欠です。しかし長年にわたり、一般的には大型の対流式オーブンが使われてきました。問題点は、これらのオーブンが非常に多くのエネルギーを消費することです。わずかな部分を乾燥させるためだけに、...

ファブフロアでの温度管理 フォトレジストのベーク中にわずか0.5℃のドリフトが発生するだけで、ライン幅に影響を及ぼし、歩留まりの低下を引き起こします。温度をただの推測ゲームのように扱うことはできません。温度管理は安定したプロセスパラメータとして機能しなければならず、移り変わる目標値のように扱っては...