ヒーターに問題が発生したときでも、ウェーハを清潔に保つ方法 カーボンナノチューブの製造を行っている人なら、この問題はよく知っているでしょう。正確な温度制御のためには、高出力の赤外線ランプが必要です。しかし問題は、高負荷の生産環境下でこれらのランプを使うと、チューブが破損してしまうことです。 それは...

半導体製造用の装置を「オーブン」にしてしまうのはやめましょう。 通常の赤外線ヒーターは、熱があちこちに漏れ出すという欠点があります。狭い筐体の中に入れてしまうと、その熱は消えることはなく、筐体の内壁に当たります。その結果、筐体全体が巨大な放熱器のように機能してしまいます。 その結果、筐体の表面が触...