如何让炉子中的热量分布更均匀
如果您曾经处理过晶圆固化的问题，那么您一定知道晶圆出现翘曲或化学物质沉积不均的困扰。这通常都是因为热量没有均匀地传递到晶圆表面所导致的。 因此，我们才会选择高反射率的红外系统。与其让热量四处散逸，不如用这些反射器将短波辐射精确地引导到需要加热的位置。在现代工厂中，这些反射器可不是普通的镜子而已——它们实际上能够缩短加工时间，同时避免能耗过度上升。
能量到底去了哪里？
普通红外灯的能量是向四周散发的，360度无差别地释放能量。如果没有反射器的话，那些能量就会被浪费在机器的框架上，实在是一种浪费。 我们会设计专门的反射器来捕捉那些逸散的能量，并将其重新反射回晶圆表面。这样，晶圆表面就能接收到更集中的热量。最棒的是，无需提高功率就能达到同样的效果。这样一来，整个系统就能保持高效运行。
材料的选择
根据预算和需求，我们通常选择镀金或高纯度铝作为反射器材料。黄金之所以是最佳选择，是因为它对红外光线的反射效果最好，不过其成本也相对较高。 不过，真正的问题在于氧化现象。一旦涂层开始老化，热量分布就会出现问题，晶圆上就会出现“冷点”，从而引发各种问题。 一个小贴士：将系统与数字控制器相连，实时监控能耗情况。如果发现为了维持相同的温度而必须投入更多的能量，那么很可能是反射器已经脏污或氧化了，这时就需要更换反射器了。
折衷之道
当然，这种高强度加热方式也有其弊端——温度会变得非常高。 如果冷却系统无法承受这么高的温度，那只会带来麻烦。在没有足够的气流或有效的散热措施的情况下，把大量能量集中在加热区域，只会导致灯丝过热，进而缩短其使用寿命。 所以，关键在于找到合适的平衡点，只有这样，一切才能正常运转。